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气浮平台简介

发布时间: 2019-08-21
浏览次数: 35

精密气浮运动平台特点:

非接触/零摩擦力/滑顺/直线精度/洁净


简介:

台湾开发专利设计精密气浮运动平台,非接触气静压导轨,零磨耗,确保设备精度性能

实现次微米级定位、重复、水准跳动与直线精度,使用日系直线电机驱动,达到平台运动完全零损耗。取得台湾、美国等多国专利。适用于光电半导体制程、检测设备.精密激光加工设备。


气浮平台简介


规格参数: 

移动台面尺寸:275X275 mm

标准行程:50/100/150/200/300/400/500 mm

定位精度:±0.2 ~±0.75μm重复精度:±0.1 ~±0.5μm            直线精度:±0.1 ~±0.5μm

标准连续推力:93/114/140/170 N

最大速度:1 m/s

最大载重:35 kg

工作压力:0.55 MPa

空压需求量:<35 L/min



精密检测、激光、光电半导体设备用,高刚性气浮平台

行程:0~150 mm

定位/重复精度:0.3/0.2μm

水平/垂直直线度:0.1/0.1μm

最大载重:25Kg


客制化专用气浮运动平台、系统

行程: 0~300 mm

定位/重复精度:  0.3/0.2μm

水平/垂直直线度:  0.1/0.2μm

最大载重: 45Kg


气浮平台简介小型对位平台/50mm  


气浮平台简介


小型对位平台/100mm

气浮平台简介检测设备/170mm
气浮平台简介齿科设备/150mm气浮平台简介精微制造系统/250mm


气浮平台简介雷射切割设备/320mm


模块型精密气浮运动平台(开发中型式)



客制化专用气浮运动平台、系统:拼接导轨技术

-工作台面:406x406mm

-行程:500 mm

-定位/重复精度:±0.3/±0.5μm

-水准/垂直直线度:±0.5/±0.5μm

-最大载重:100Kg



臥式气浮回转定位轴:

-旋转盘面:直径90 mm

-行程:360度,连续

-回转定位/重复精度:±2/±1 arcsec

-径向/轴向回转误差:±0.2/±0.2μm

-最大载重:10Kg



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TGB滚珠丝杆,是采用日本设备生产,台湾整厂技术移转,提供优良品质的Ballscrew、优于台湾平牌的价格,专业生产静音型及微小型Ballscrew,适用于各种自动化设备,直线模组专用,对焦自动化产业,电动微调模组产业等,台湾品质性价比高,具有高精度,超顺滑,超静音效果。
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机械运动包含直线运动与圆周运动,直线运动以各类型的滑台为代表,而圆周运动则以分割器最具代表性,之后因技术的成熟及设备对精度的要求,进而产生的DD马达。然而,传统分割器无法满足任意分割的需求;而DD马达虽能多元化应用,精度高。但是它的价格成本缺成为使用者的一大门槛。“中空旋转平台”的出现在两者之间取得了平衡,重复定位精度≤15弧秒,不仅能大幅度降低DD马达的成本,更能满足分割器所无法提供的高精度及数位化控制。TGB中空旋转平台是一款革命性产品,应用于各种旋转定位场合。可取代DD马达与凸轮分割器。集高工作效率,高精度,高刚性,高性价比于一身,在两者之间取得了平衡。重复定位精度≤15弧秒,定位精度≤1弧分。可搭配AC伺服马达或步进马达做任意角度分割,既能满足分割器无法达到的数位控制,定位精度又可以媲美DD马达,可大幅度降低成本
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