UVW对位平台是一种三轴并联机构。XY两轴线性运动和z轴旋转的θ。借助卓力汉光tmc xyr运动控制器的嵌入式运动算法和软件,可以实现单轴直线运动、两轴直线插补、两轴圆弧插补和任意圆心旋转等复杂运动。UVW对位平台是高精度视觉对准系统的机械执行部分。主要用于曝光机、键合机、掩模打印机、晶圆对准、零件安装、PCB钻床、LCD照明特性检测、切割机、贴片机(LCD/fpc)、屏幕打印机等场合。
UVW对位平台总体结构:
UVW对位平台通常由四个模块组成:上表、下底和中间。从模块分布的结构上,可以分为对称结构和非对称结构,而对称结构又可以分为交叉对称结构和四边形对称结构。
不对称结构通常用于超薄或定制需求,通常不能在中间设计通孔,因此在某些特定情况下使用。对称结构在运动算法上更为通用,并且可以在对准平台的中心设计通孔,在一定程度上可以满足透射和反射的对准要求,因此得到了广泛的应用。对称结构中的四边形分布具有较强的刚性和可扩展性,所以卓力汉光学对准平台采用的是更多的四边形对称结构。
校准平台模块:
UVW对位平台通常由四个运动模块组成,其中三个模块配有驱动机构,另一个模块为驱动(非驱动)模块。由于定位平台具有紧凑的结构,并且侧驱动模块在长度方向上节省空间,因此通常使用它。对准平台模块通常由x轴、Y轴和θZ轴组成。当这三个轴组合成对中平台模块时,通常会将其分为几个结构:虽然对中平台是按模块搭建的,但由于在实际施工过程中对加工、装配、检验、运动控制等要求较高,建议没有经验的用户不要购买模块并自行安装。
顾名思义,对齐平台用于对齐。任意两个工件需要组装在一起,可以使用对中平台。然而,并非所有工件组件都需要对齐平台,因为它们不需要如此高的精度。校准平台的精度可达到1微米,用于芯片印刷。
目前,UVW对位平台的应用主要集中在半导体行业的晶圆切割、封装检测、PCB制造行业的曝光机、丝网印刷机、层压机、压力机、PCB板切割、手机制造、lcd/led面板制造等高速高精度行业,太阳能电池板银丝印刷。这些行业只是校准平台用户的先驱,未来随着自动化的加速,更多的行业将使用这种计数器平台,称为“自动设备CPU”。