誊展精密科技(深圳)有限公司
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发布时间: 2019 - 08 - 19
一字体UVW对位平台采用2~3点支撑,由三个驱动轴组成,因为一字体排列支撑可让平台达到小型化并保持薄、稳之优点,空间占比更小,加上三轴XXY同时驱动可达到精准定位。 台面尺寸:70*115~...
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发布时间: 2019 - 08 - 19
客制化UVW对位平台采用多点支撑,可依据客户特殊需求进行方案设计,提供客户快速快捷的解决方案台面尺寸:525*525mm重复精度:P±4um\UP±2um行程角度:±5m...
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发布时间: 2019 - 08 - 19
特性:静负载2000Kg绝对定位精度<10um重复定位精度±0.5um侧向力20Kg<20um  可用于一次对位应用案列 :实际应用于A客户XR系列面板贴合,并搭配软件使...
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发布时间: 2019 - 08 - 19
特殊设计XYθ对位平台采用X、Y、θ三轴模块化搭配,可因应非标设计需求,可随意搭配X、Y轴不同行程需求,达到不同功能之对位与长行程移载一体设计需求,节省设计空间与机构成本。XYθ对位平台台面尺寸:13...
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发布时间: 2019 - 08 - 19
直驱电机模块化设计,可自由组合,对位精度可达0.5um,GXYR对位模块采用无槽直线电机及盘式DDR为动力,利用交叉滚子导轨与轴环做导向,内置高分辨率光栅,实现XYθ三轴联动。是理想的测量仪器和检测设...
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发布时间: 2019 - 08 - 19
特性:动负载20Kg静负载50Kg绝对定位精度<15um重复定位精度±1um台面偏摆角度>2°应用案例:实际应用晶圆半导体的晶圆检测设备,UVW对位与水平调整。
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发布时间: 2019 - 08 - 19
平台简介:该平台以其上工作平面在空间竖直的3个自由度做运动,可以实现z方向±5mm垂直升降;工作平面可以围绕某单轴或者2轴做倾摆,图解:
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发布时间: 2019 - 08 - 19
特殊设计对位平台采用功能模块化堆积搭配,可因应非标设计需求,可随意搭配GZ系列平台以及TBZ系列平台,达到不同功能之对位应用组合模块化设计需求,节省设计空间与机构成本。GZ对位平台台面尺寸:220*2...
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