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一字型UVW对位平台

浏览次数： 511

发布时间： 2019 - 08 - 19

一字体UVW对位平台采用2~3点支撑，由三个驱动轴组成，因为一字体排列支撑可让平台达到小型化并保持薄、稳之优点，空间占比更小，加上三轴XXY同时驱动可达到精准定位。台面尺寸：70*115~...

客制化UVW精密对位平台

浏览次数： 236

发布时间： 2019 - 08 - 19

客制化UVW对位平台采用多点支撑，可依据客户特殊需求进行方案设计，提供客户快速快捷的解决方案。

重载型超高精密对位平台

浏览次数： 285

发布时间： 2019 - 08 - 19

特性：静负载2000Kg绝对定位精度＜10um重复定位精度±0.5um侧向力20Kg＜20um 可用于一次对位应用案列：实际应用于A客户XR系列面板贴合，并搭配软件使...

模组化XYθ 对位平台

浏览次数： 730

发布时间： 2019 - 08 - 19

特殊设计XYθ对位平台采用X、Y、θ三轴模块化搭配，可因应非标设计需求，可随意搭配X、Y轴不同行程需求，达到不同功能之对位与长行程移载一体设计需求，节省设计空间与机构成本。XYθ对位平台台面尺寸：13...

直线电机XYθ对位模组

浏览次数： 436

发布时间： 2019 - 08 - 19

直驱电机模块化设计，可自由组合，对位精度可达0.5um，GXYR对位模块采用无槽直线电机及盘式DDR为动力，利用交叉滚子导轨与轴环做导向，内置高分辨率光栅，实现XYθ三轴联动。是理想的测量仪器和检测设...

六轴精密对位平台

浏览次数： 359

发布时间： 2019 - 08 - 19

特性：动负载20Kg静负载50Kg绝对定位精度＜15um重复定位精度±1um台面偏摆角度＞2°应用案例：实际应用晶圆半导体的晶圆检测设备，UVW对位与水平调整。

UVW+3Z六轴对位平台

浏览次数： 160

发布时间： 2019 - 08 - 19

平台简介：该平台以其上工作平面在空间竖直的3个自由度做运动，可以实现z方向±5mm垂直升降；工作平面可以围绕某单轴或者2轴做倾摆，图解：

三、六、七轴对位平台

浏览次数： 104

发布时间： 2019 - 08 - 19

特殊设计对位平台采用功能模块化堆积搭配，可因应非标设计需求，可随意搭配GZ系列平台以及TBZ系列平台，达到不同功能之对位应用组合模块化设计需求，节省设计空间与机构成本。GZ对位平台台面尺寸：220*2...

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