特殊设计XYθ对位平台采用X、Y、θ三轴模块化搭配,可因应非标设计需求,可随意搭配X、Y轴不同行程需求,达到不同功能之对位与长行程移载一体设计需求,节省设计空间与机构成本。
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XYθ对位平台
台面尺寸:130*130mm
重复精度:P±4um\UP±2um
行程角度:±5mm\±3°
动静负载:15Kg\30Kg
螺杆导轨:0801\R3 |
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Yθ对位平台
台面尺寸:200*200mm
重复精度:P±4um\UP±2um
行程角度:±25mm\±5°
动静负载:30Kg\50Kg
螺杆导轨:0801\R3 |
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单轴长行程XYθ对位平台
台面尺寸:200*225mm以上
重复精度:P±4um\UP±2um
行程角度:X:400\mmY:±50mm\±10°
动静负载:30Kg\100Kg
螺杆导轨:0801\R3
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