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直线电机XYθ对位模组

发布时间： 2019-08-19

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直驱电机模块化设计，可自由组合，对位精度可达0.5um，GXYR对位模块采用无槽直线电机及盘式DDR为动力，利用交叉滚子导轨与轴环做导向，内置高分辨率光栅，实现XYθ三轴联动。是理想的测量仪器和检测设备的定位机构，可用于半导体/液晶相关制造设备和洁净环境下的图象对准机。

XYθ对位模组

台面尺寸：120*120mm

重复精度：±0.5um

行程角度：±10mm/60°

动静负载：6Kg

传动机构：直线电机

Yθ对位模组

台面尺寸：200*200mm

重复精度：±0.5um

行程角度：±12.5mm/280°

动静负载：30Kg

传动机构：直线电机

单轴长行程XYθ对位模组

台面尺寸：120*120/200*200mm

重复精度：0.5Um

行程角度：XY:±10-12.5mm\Y:±30°-140°

动静负载：6Kg\30Kg

传定机构：直线电机

直线电机XYθ对位模组

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