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直线电机XYθ对位模组

发布时间: 2019-08-19
浏览次数: 11

直驱电机模块化设计,可自由组合,对位精度可达0.5um,GXYR对位模块采用无槽直线电机及盘式DDR为动力,利用交叉滚子导轨与轴环做导向,内置高分辨率光栅,实现XYθ三轴联动。是理想的测量仪器和检测设备的定位机构,可用于半导体/液晶相关制造设备和洁净环境下的图象对准机。


直线电机XYθ对位模组


XYθ对位模组


台面尺寸:120*120mm


重复精度:±0.5um


行程角度:±10mm/60°


动静负载:6Kg


传动机构:直线电机

直线电机XYθ对位模组


Yθ对位模组


台面尺寸:200*200mm


重复精度:±0.5um


行程角度:±12.5mm/280°


动静负载:30Kg


传动机构:直线电机

直线电机XYθ对位模组


单轴长行程XYθ对位模组


台面尺寸:120*120/200*200mm


重复精度:0.5Um


行程角度:XY:±10-12.5mm\Y:±30°-140°


动静负载:6Kg\30Kg


传定机构:直线电机


直线电机XYθ对位模组

直线电机XYθ对位模组

直线电机XYθ对位模组


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