2019
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一字体UVW对位平台采用2~3点支撑，由三个驱动轴组成，因为一字体排列支撑可让平台达到小型化并保持薄、稳之优点，空间占比更小，加上三轴XXY同时驱动可达到精准定位。 台面尺寸：70*115~90*600mm重复精度：P±4um\UP±2um行程角度：±5mm\±1~3°动静负载：10-15Kg\25~30Kg螺杆导轨：0801（0802）\R2030台面尺寸：80*180mm重复精度：P±4um\UP±2um行程角度：±5mm\±5°动静负载：30Kg\80Kg螺杆导轨：0801\R2045台面尺寸：126*326mm以上重复精度：P±4um\UP±2um行程角度：±5mm\±2°动静负载：10Kg\30Kg螺杆导轨：0801\R2...